„Fraunhofer HHI“ parenka „Veeco“ purškimo sistemą

Optinių telekomunikacijų tyrimų institutas užsako jonų pluošto purškimo sistemą, kad būtų sukurtos lazerinės fasetinės dangos ir mikrooptiniai prietaisai.

HHI naudos „Veeco“ IBS technologiją, kad sukurtų lazerines fasetines dangas.

Veeco Instruments pranešė, kad pristatė savo „Spector Ion Beam Sputtering“ (IBS) sistemą ir „Sirius“ optinio monitoriaus sistemą. Fraunhoferio institutas Telekomunikacijos(HHI).
Institutas, įsikūręs Berlyne, Vokietijoje, teigia, kad naudos šią IBS technologiją „kurdamas ir gamindamas lazerines fasetines dangas ir kitus mikrooptinius prietaisus“.
„Norint sukurti sudėtingus mikrooptinius prietaisus, reikia išskirtinės purškimo technologijos“, - komentavo Greta Ropers, „Fraunhofer“ programinės įrangos ir pakavimo grupės vadovė.
„Veeco„ Spector “sistema kartu su„ Sirius OMS “užtikrins, kad mes kuriame ir gaminame aukščiausios klasės prietaisus, kurių našumas ir procesų pakartojamumas yra didžiausi automatizuotoje ir nusistovėjusioje platformoje.“

Optinės plonos plėvelės
„Spector“ platforma generuoja aukštos kokybės optines plonas plėveles, kurių našumas ir pralaidumas yra geresni, pasak klientų. Skirtingai nei garavimo dangos, jonų pluošto purškiamos plonos plėvelės kaupiasi esant didelei energijai, suteikdamos išskirtinį storio valdymą ir mažą defektų tankį lazerio dangoms. „Sirius OMS“ padidina „Spector“ platformos galimybes, sujungdama plačiajuosčio ryšio valdymo valdymą su jonų pluošte nusodintų plėvelių stabilumu. .
„„ Fraunhofer HHI “pasaulinis lyderis kuriant naujos kartos lazerines briaunų dangas ir mikrooptinius prietaisus“, - sakė dr. Adrianas Devasahayamas, „Veeco“ pažangiosios deponavimo ir ėsdinimo (AD&E) verslo viceprezidentas ir generalinis direktorius. „„ Spector “sistema suteikia neprilygstamą tikslumo optinių plonų plėvelių dangos kokybę ir lankstumą bei paspartins jų plėtros tikslus.“
Šiam projektui finansavimą suteikė „Forschungsfabrik Mikroelektronik“, įvairių vietų mikroelektronikos ir nanoelektronikos tyrimų fabrikas, pažeidžiantis vienuolika „Fraunhofer Group“ institutų, kartu su „Inovacijomis aukštos kokybės mikroelektronikai“ ir „Ferdinand-Braun-Institut“, „Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik“. Sistema buvo parduota bendradarbiaujant su „Veeco“ Europos kanalo partneriu,„Veonis Technologies“.